[Agilent] 이온 펌프 및 컨트롤러

초고진공(UHV) 및 극고진공(XHV)용 이온 펌프와 제어 유닛

Agilent Vacuum(이전 Varian)은 다양한 펌핑 속도(0.4~1,000L/s)를 제공하는 완전한 VacIon 이온 펌프 포트폴리오를 제공합니다. 애질런트는 깨끗하고 진동이 발생하지 않는 환경을 위해 스마트 티타늄 승화 펌프(Ion CombiTSP) 및 비기화 게터(이온 CombiNEG) 펌프도 제공합니다.

애질런트 이온 펌프 및 컨트롤러는 진공 요건을 충족하기 위해 다양한 구성의 사용자 맞춤화가 가능합니다. 실험실, 대형 연구 시설, 의료 기기, 스캐닝 전자 현미경 및 표면 분석 도구와 같이 안정적인 초고진공 또는 극고진공(UHV 또는 XHV) 조건이 필수적인 응용 분야에 가장 적합합니다.

소형 이온 펌프 미니(부속) 및 소형 VacIon 펌프의 고효율 다이오드 구성은 0.4~10L/s의 질소 펌핑 속도를 제공합니다.	중형 이온 펌프 VacIon Plus 중형 펌프의 질소에 대한 펌핑 속도는 20~75L/초입니다.	대형 이온 펌프 VacIon Plus 대형 이온 펌프, 질소에 대한 펌핑 속도는 150~1000L/초입니다.
티타늄 승화 조합 이온 펌프(TSP) Ion CombiTSP는 애질런트 VacIon Plus 펌프와 티타늄 승화 펌프(TSP) 및 극저온 패널 또는 차단 실드를 결합하여 매우 낮은 압력에서 초고속 펌핑	비기화 게터(NEG) 조합 이온 펌프 애질런트 이온 CombiNEG 펌프는 애질런트 VacIon Plus 펌프와 SAES 비기화 게터(NEG) 카트리지를 조합하여 최저 10~12mbar의 압력까지	이온 펌프 컨트롤러 티타늄 승화 펌프용 단일 채널 IPCMini, 멀티채널 4UHV 및 TSP 컨트롤러를 포함한 폭넓은 범위의 이온 펌프 컨트롤러
이온 펌프 액세서리 피드스루, 히터, 자석 등을 포함한 UHV/XHV 시스템용 이온 펌프 액세서리